干涉显微镜 6JA
干涉显微镜用以测量表面光洁度，刻线或度层的深度，干涉显微镜6JA配以各种附件还能测量粒状，纹路混乱和底反射率的表面。同时还可将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。
干涉显微镜主要技术规格:
不平深度测量范围
0.03---1μm（▽10----▽14）
放大倍数
500×（目视）；168×(照相）
视场范围
Ф0.25mm（目视）;0.15×0.21mm（照相）
工作距离
0.5mm
测微器分划值
0.01mm
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